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  • URE-2000/35型紫外光刻機
    URE-2000/35型紫外光刻機

    更新時間：2024-04-09

    型號：

    瀏覽量：3273

    URE-2000/35型紫外光刻機，采用三柔性支點實現高精度自動調平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制。
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  • TYG-2000/T2步進投影光刻機
    TYG-2000/T2步進投影光刻機

    更新時間：2021-03-15

    型號：

    瀏覽量：1366

    TYG-2000/T2步進投影光刻機，照明系統：冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈（德國歐司朗）; XYZ汞燈調節臺; 光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇
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  • DS-2000/14G型光刻機
    DS-2000/14G型光刻機

    更新時間：2023-08-03

    型號：

    瀏覽量：1496

    DS-2000/14G型光刻機該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源，用DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模板，采用積木 錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明。
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