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DS-2000/14G型光刻機

簡要描述：DS-2000/14G型光(guang)刻機該機可采用紫(zi)外(wai)光(guang)、深(shen)紫(zi)外(wai)光(guang)、甚(shen)至更短波長(chang)的極紫(zi)外(wai)光(guang)作(zuo)為光(guang)源，用DMD數字微(wei)鏡陣列替代(dai)傳統掩(yan)模(mo)板，采用積木 錯位(wei)蠅眼(yan)透鏡實現高均(jun)勻照明。

  • 產品型號(hao)：
  • 廠(chang)商性質：生產廠家
  • 更新時間：2023-08-03
  • 訪  問(wen)  量：1494

詳細介紹

品牌其他品牌價格區間面議
儀器種類微流控芯片系統應用領域醫療衛生,環保,電子
產品名稱：DS-2000/14G型光刻機
主要技術指標：
單次曝光面積：1.4mm×1mm;
大曝光基片：100mm ×100mm ;
對準精度：±0.8μm（半自動對準）;
大膠厚：300μm（SU8膠）;
自動逐場對焦；
分辨力：1μm；
X、Y、Z、θ四自由度電動位移臺 ;
X、Y平移重復定位精度：0.65μm（3σ）;
Z向運動精度：1μm。
DS-2000/14G型光刻機技術特點：
該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源，用DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模板，采用積木 錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統（可同時使用），拼接獲得大面積圖形，曝光設定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡便。


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