系(xi)列微納(na)(na)(na)結(jie)構三(san)維形貌檢測(ce)儀，基于(yu)白光(guang)干涉掃描原理，以(yi)光(guang)波長作為測(ce)量基準，利用(yong)納(na)(na)(na)米級高精度掃描系(xi)統結(jie)合(he)具有自主知識產權(quan)的高精度解析(xi)算法，實現連(lian)續或臺階突變(bian)微納(na)(na)(na)結(jie)構表(biao)面三(san)維形貌重(zhong)構，由此獲得(de)待測(ce)物體三(san)維形貌、表(biao)面紋(wen)理、微觀尺(chi)寸(cun)等各類外(wai)觀參(can)數(shu)測(ce)量結(jie)果。

微納結構三維形貌測量儀本產品具有以下特點：
高的測量精度：基于干涉測量原理，測量重復性達到1nm。
大的測量范圍：采用*掃描系統，在保證納米定位精度的同時，單場掃描范圍可達到10mm，結合白光光源重構方法，可滿足曲面元件等大范圍物體測量需求。
全自動測量：標配自動檢焦功能，結合自動調焦裝置，無需復雜調節過程，一鍵操作即可完成調焦、檢測全過程。選配自動二維平臺，可自動完成大面積三維數據拼接操作
高集成度、安裝簡便：整機集成為統一整體，僅需外接220v電源，通過USB3.0 數據傳輸，即可完成數據傳輸與測量
具有高的性價比：保證系統性能的同時，降低制造成本
靈活(huo)性高：可根據用戶需求(qiu)，對系統進行(xing)改進，滿足工業不同應用場景需求(qiu)。